高速变焦光学成像模组：本产品可外接物镜与照明后独立使用，充当低倍率场景下的小型超景深显微镜；也可接在传统显微镜C-mount口替代数码显微镜相机，将传统 2D 显微镜升级为超景深显微镜。

超高速全聚焦光学成像系统：本产品是一台可以独立使用的显微光学系统，支持2到20倍的放大倍率。其核心是使用微镜阵列系统，使得光学系统在Z轴上无需使用电动马达驱动镜头组即可实现快速变焦。同时结合了高速相机，使得系统可以在快速变焦的同时进行快速成像。通过快速变焦，该显微系统可以对观测样品快速生成超景深图片和完成三维重建。经实测，多焦图像的帧率达到1000帧以上。

SPAD探测效率测试系统：该单光子雪崩二极管（SPAD）光子探测效率（PDE）谱测试系统方案基于事件刷新时数转换器（Event-refreshed TDC），能快速、准确地获得单光子探测器的PDE参数，而无需对探测器的暗计数、后脉冲、死时间等效应进行额外的测量和校正。

动态微墨滴视觉观测仪：本产品能够测量高频动态墨滴的速度、体积以及飞行角度，同时具备动态轨迹跟踪、数据统计分析、自动全头观测、波形调试等功能。该成果已应用于OLED喷印设备喷头检测，光伏喷印设备喷头检测等多领域，通过高速视觉墨滴捕获系统，结合微滴检测算法与喷头检测路径规划算法，将原检测效率提升了30倍。

超声雾化精密喷涂设备：本产品实现了从核心部件（超声喷头、供液泵、超声发生器）到整机系统的全面国产化替代。该设备采用高频超声波雾化技术，结合高精度供液系统与XYZ多轴联动平台，可实现液滴粒径微米级的精密雾化，喷涂均匀度优于95%，适用于高端功能涂层制备，具备高性能、低成本、可定制等核心竞争优势。

磁控管微波电源：本产品能提供最大6kW，2.45GHz微波能量，且微波功率调节至最大输出功率的10%以下仍可保证功率波动小于2%，是一种高性能、低成本的微波发生器，通常可用至等离子刻蚀(PE)、等离子增强化学气相沉积(PECVD)、离子注入、离子辅助沉积等应用中。

射频电源：本产品为高效射频输出设计的高性能射频发生器。该系列产品以13.56MHz 标准工业频率为核心，分别提供 600W、1200W、3000W 最大功率输出，支持连续功率调节，频率稳定度达 ±0.005%，整机效率高达 70% 以上，通常应用于晶体生长、离子刻蚀、干法去胶等半导体工艺制程。

电容薄膜真空计：本产品是一种用于真空测量的压力计，有10torr、100torr、1000torr三种量程。本系列电容薄膜真空计的传感器采用抗腐蚀的高纯氧化铝陶瓷材料，具有精度高、不受检测气体成分影响等特点。

真空高速蝶阀：本产品蝶阀内部集成的压力控制器通过采用自适应控制算法，快速且精准地计算所需阀门位置，使其能够在不同的真空环境中快速、无超调和精准控制真空设备压力。同时使用高精度电机调节阀门位置，实现阀门的快速、精准定位。

MRP300S 远程等离子体源：本产品采用具有高输出稳定性的固态微波发生器与等离子体谐振腔集成匹配，能够有效解离氢、氧、氮、甲烷等原子层沉积（ALD）用工艺气体。在等离子体辅助原子层沉积（PA-ALD）应用中，本 RPS 所产生的活性等离子体密度高，稳定性好，有助于生长结构致密、缺陷数目少，均匀性好的薄膜材料。

MRP 3000A 远程等离子体源：本产品是一种用于远程等离子体应用的微波远程等离子体源。MRP 3000A远程等离子源具有可更换的石英或蓝宝石管，配置灵活，以满足最苛刻的应用工艺条件。石英管版本非常适合产生原子氧、氢或氮，蓝宝石管适用于更苛刻的CF4和NF3等含氟化学物质。

400K远程等离子源：本产品聚焦于新一代半导体工艺步骤中的清洗与刻蚀应用，是一个将6kW大功率电源和等离子体腔室集成于一体的远程等离子体发生器，适配3-8Torr的气压范围，并可根据具体工况以拓展至0.5Torr。在产品在工作区间内使用NF3作为工艺气体时,本产品的离化率≥98%。

三激光十色流式细胞仪：本产品配备高速流动状态下细胞聚焦、多点多路激发荧光收集、单细胞微弱荧光信号探测、高通量细胞数据流实时处理等关键技术，最大分析速度可达20000个事件每秒， FITC通道荧光灵敏度最大值为57MESF，PE通道荧光灵敏度最大值为28MESF，指标均满足行业标准YY/T 0588-2017《流式细胞仪》中相关要求。