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2018年11月18日,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所(以下简称广东研究院)与佛山市人民政府、佛山市南海区人民政府签署共建中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东(佛山)研究院的框架协议。研究院于2019年7月登记为广东省属科研事业单位。拟建设成为总投入12亿元以上,100亩科研及产业化用地的新型研发机构。

广东研究院占地100亩,一期建筑面积约23000平方米,二期建筑面积约57000平方。以促进区域创新发展为基础、以专业特色学科为依托、以研发具有重要应用前景的产业技术为目标,建设集公共服务、创新研发和孵化育成为一体的新型研发机构,通过“纳米加工平台+研究中心+育成中心”的运营模式,探索融合发展的新型发展机制,建设成为辐射粤港澳大湾区的一流应用技术创新创业平台,提升粤港澳大湾区先进制造业和现代服务业的自主创新能力。

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东(佛山)研究院立足佛山,面向广东、辐射整个粤港澳大湾区,针对企业、高校、科研院所半导体器件研发及产业化加工需求,打造服务于半导体器件加工的开放型公共服务平台,集聚一批高层次人才、吸引一批高技术企业、打造一个半导体产业发展生态圈,目标将研究院建成产业技术源头创新基地、高技术成果转移转化基地。

广东研究院拥有MOCVD、紫外光刻机、等离子刻蚀、真空镀膜、原子层沉积、物理气相沉积、离子注入等 8 吋完整研发工艺线,涵盖目前市场上多种主流机型,具 备半导体材料外延研发与中试生产,氮化镓基半导体激光器、MEMS 器件、功率芯片、Micro-LED 等分立芯片全流程加工能力。